等離子清洗設備的這兩項化學反應該如何理解？有哪些實際應用？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-12-15 09:38【大中小】

文章導讀：使用等離子清洗設備對固體類材料進行表面處理時，通常會包含物理和化學反應，而化學反應主要包含4種類型，在昨天的文章中向大家介紹了其中兩種，那么剩下的兩種化學反應該如何理解？又會有哪些具體的實際應用呢？

鑒于化學反應方程式解釋起來較為方便且直觀，普樂斯接下來將還會通過等離子清洗設備表面處理過程的反應方程式向大家作一說明。下述的反應式中大寫字母A、B、C、D、M分別代表不同的物質；小寫字母s、g則分別代表物質固體形態(tài)和氣體形態(tài)。

一、化學反應式為A（g）+B（g）→C（s）+D（g）等離子表面處理過程

等離子清洗機的這一類型的等離子清洗設備的化學反應，通常會有兩種以上的反應氣體參與，產生的等離子體會與固體材料發(fā)生化學反應，這一類的具體工藝應用包括等離子增強化學氣相沉積即PECVD、等離子濺射和等離子體聚合。

1.等離子清洗設備的PECVD工藝

PECVD等離子增強化學氣相沉積通常是將兩種或兩種以上的工藝氣體在等離子體狀態(tài)下反應，生成新的固體物質，在材料基板上形成一層薄膜物質，這項工藝目前已在光學膜的制備等方面都有廣泛應用。

2.等離子清洗設備的濺射工藝

等離子濺射同樣也是使用兩種及以上的氣體電離成等離子體進行反應，不同的是，其中一種反應物種先借助荷能粒子從靶材上濺射下來，然后再經過反應生成薄膜，屬于濺射制膜的范疇。

3.等離子清洗設備的等離子聚合工藝

關于等離子清洗機的聚合工藝，其實就是反應物為有機單體所發(fā)生的等離子體反應。

二、化學反應式為A（g）+B（g）+M（s）→AB（g）+M的等離子表面處理工藝

這一類型的反應工藝表示的是固體材料M的表面主要起催化作用，能夠促進氣體分子的離解和復合等。關于這種等離子體反應，通常應用于特殊氣體制備領域。
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