普樂斯等離子清洗設備介紹，介質(zhì)阻擋惰性氣體放電特性和屬性有哪些？
文章導讀：普樂斯等離子清洗機介紹，在各類工作氣體當中，惰性氣體是很容易在大氣壓下獲得介質(zhì)阻擋均勻放電的，采用平行板結構金屬圓電極，可以對介質(zhì)阻擋惰性氣體放電特性和屬性進行研究。
普樂斯等離子清洗設備介紹，研究所用電極直徑50mm，兩個電極上各覆蓋一片厚度為1mm的石英玻璃，其相對介電常數(shù)為3.9，氣體間隙為5mm。電極與阻擋介質(zhì)安放在放電室內(nèi)，放電室先被抽真空至5Pa以下，然后充入高純度的氦氣或者氖氣、氬氣。
DBD放電的側(cè)面圖像通過ICCD高速相機進行拍攝，使用ITO透明電極作為下電極并輔以45°平面鏡，可對放電區(qū)域進行底面拍攝。上圖給出了測量的外加電壓Va、放電總電流i與計算得到的氣隙電壓Vg波形，其中準正弦虛線是外加電壓波形；細實線是電流波形。從圖中可看到，外加電壓每半個周期內(nèi)有一個電流脈沖，這是大氣壓下介質(zhì)阻擋均勻放電的典型特征之一。
在研究放電機理時，氣體間隙上的電壓Vg是人們更關心的參量；然而由于阻擋介質(zhì)的存在，我們無法直接測量氣隙上的電壓。使用測量到的外加電壓Va和放電電流i，結合DBD的等效電路，可計算得到Vg。根據(jù)測量到的外加電壓Va和放電總電流i計算出氣體間隙上的真正電壓Vg，以及流過氣體間隙的運流電流id。Vg的計算公式如下：
其中，Vm(to)表征to之前的放電在介質(zhì)表面積累電荷的影響。在計算中取Vm(to)使得Vm(t)在一個外加電壓周期內(nèi)的均值為0，即介質(zhì)沒有自極化。
氦氣放電中位移電流遠小于運流電流，因此運流電流與測量的總電流近似相同，不再單獨計算。氣隙上電壓Vg隨著外加電壓Va的增加而升高，然后隨著氣隙的放電迅速下跌。這個拐點對應氣體間隙的擊穿電壓。
在驗證放電的空間均勻性時，可以在放電電流峰值附近拍攝曝光時間為10ns的放電圖像，得到上圖所示放電側(cè)面圖像，發(fā)現(xiàn)放電沒有明暗相間的放電細絲，說明這種放電在空間上是均勻的，因此在大氣壓氦氣中比較容易得到的這種放電是一種均勻放電；同時在上圖中還可觀察到瞬時陰極附近有一個亮度較高的發(fā)光層，這是輝光放電的典型特征，因此可以斷定，大氣壓氦氣放電屬于輝光放電。
氖氣放電的電壓、電流波形和側(cè)面發(fā)光圖像如上圖所示，電源頻率約33kHz，氣隙厚度6mm，上方是陽極，下方是陰極。再通過與氦氣DBD電壓電流波形圖和側(cè)面發(fā)光圖像對比發(fā)現(xiàn)，氖氣和氦氣DBD十分相似，不同之處只是其正柱區(qū)不明顯，而法拉第暗區(qū)幾乎觀察不到。
從氣隙電壓Vg的波形可以計算其擊穿場強，經(jīng)過計算得到6mm氖氣擊穿場強是1kV/cm，遠小于大氣壓空氣的擊穿場強30kV/cm。如此之低的擊穿場強是大氣壓氦氣和氖氣實現(xiàn)均勻放電的保證。
普樂斯電子10年專注研制等離子清洗機，等離子清洗設備，等離子表面處理機，等離子表面處理設備，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認證，為電子、半導體、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解更多關于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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