低溫等離子體有哪些基本的應(yīng)用?
文章導(dǎo)讀:我們知道了等離子清洗機產(chǎn)生的等離子體屬于低溫等離子體中的冷等離子范疇,那么低溫等離子體具有什么特征,在工業(yè)上又有哪些應(yīng)用呢?

等離子清洗機中的低溫等離子體在應(yīng)用上具有兩個主要特征:與常規(guī)的物理、化學(xué)的其他方法相比,等離子體具有更高的溫度和能量密度;等離子體能夠產(chǎn)生活性成分,從而引發(fā)在常規(guī)化學(xué)反應(yīng)中不能或難以實現(xiàn)的物理變化和化學(xué)反應(yīng)。活性成分包括紫外和可見光子、電子、離子、自由基團等;高反應(yīng)性的中性成分,如活性原子(O、F等);受激原子態(tài);活性分子碎片,如單體。
等離子清洗機中的低溫等離子體放電產(chǎn)生具有化學(xué)特性的微粒,這個顯著的特點被廣泛應(yīng)用于材料表面改性。與傳統(tǒng)的工藝相比較,等離子體技術(shù)應(yīng)用的優(yōu)點包括:
①不會改變基體固有性能,改性作用僅僅發(fā)生在表面,約幾到幾十個納米,如半導(dǎo)體納米蝕刻。
②全程干燥的處理方式(干式法),無需溶解劑和水,幾乎不產(chǎn)生污染,因而節(jié)約能源,降低成本。
③作用時間短,反應(yīng)速率高,加工對象廣,能顯著提高產(chǎn)品質(zhì)量。
④工藝簡單、操作方便,生產(chǎn)可控性強,產(chǎn)品一致性好。
⑤屬于健康型工藝,對操作人員身體無傷害。
由于有以上這些優(yōu)點,等離子清洗機中的低溫等離子技術(shù)被廣泛應(yīng)用于諸多工業(yè)領(lǐng)域,而且越來越重要,尤其是低溫等離子材料表面處理技術(shù)在能源、物質(zhì)與材料、環(huán)境、生化等多個行業(yè)起著關(guān)鍵作用。如圖所示
等離子清洗機中的低溫等離子體放電產(chǎn)生具有化學(xué)特性的微粒,這個顯著的特點被廣泛應(yīng)用于材料表面改性。與傳統(tǒng)的工藝相比較,等離子體技術(shù)應(yīng)用的優(yōu)點包括:
①不會改變基體固有性能,改性作用僅僅發(fā)生在表面,約幾到幾十個納米,如半導(dǎo)體納米蝕刻。
②全程干燥的處理方式(干式法),無需溶解劑和水,幾乎不產(chǎn)生污染,因而節(jié)約能源,降低成本。
③作用時間短,反應(yīng)速率高,加工對象廣,能顯著提高產(chǎn)品質(zhì)量。
④工藝簡單、操作方便,生產(chǎn)可控性強,產(chǎn)品一致性好。
⑤屬于健康型工藝,對操作人員身體無傷害。
由于有以上這些優(yōu)點,等離子清洗機中的低溫等離子技術(shù)被廣泛應(yīng)用于諸多工業(yè)領(lǐng)域,而且越來越重要,尤其是低溫等離子材料表面處理技術(shù)在能源、物質(zhì)與材料、環(huán)境、生化等多個行業(yè)起著關(guān)鍵作用。如圖所示

等離子清洗機中的低溫等離子體技術(shù)是涉及表面物理化學(xué)、等離子體物理化學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)、放電技術(shù)、真空技術(shù)等領(lǐng)域的一門交叉學(xué)科。如圖所示

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