真空等離子清洗設備（CCP式）電極饋入的方式有哪些？

來源：昆山普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2018-08-11 20:48【大中小】

文章導讀：CCP?容性耦合等離子體 (capacitively coupled plasma)是目前國內常見的真空等離子清洗設備電極放電形式，有些愛學習的小伙伴想了解一下電極饋入方式，普樂斯的技術人員給大家簡單介紹如下，僅供參考：

真空等離子清洗設備CCP容性耦合等離子體放電使用的電極饋入方式常見的有兩類：

1、第1類是通過定制的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內，在腔體內銅棒與連接排連接在一起。真空等離子清洗設備電極板上也安裝相應的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意，其他連接只是在腔體內部有區(qū)別。


真空等離子清洗設備電極設計圖	真空等離子清洗設備電極實物圖

2、另外一類是在真空等離子清洗設備電極板上焊接連接棒，通過定制的絕緣套與焊接的連接棒配合，連接至腔體外；在腔體外再用導電排連接在一起，然后與等離子發(fā)生器的輸出連接在一起。這一類主要是用于水冷電極結構連接，如是水冷電極結構那么焊接的連接棒為中空結構，這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結構需根客戶要求而定。下圖為連接示意（僅為示意圖，實際結構會有所區(qū)別）。


真空等離子清洗設備電極設計圖	真空等離子清洗設備電極實物圖

以上關于真空等離子清洗設備電極饋入的方式清楚了嗎？您還見過那些電極的饋入方式或者有好的想法，歡迎大家留言與我們交流和分享。

親，如果您對等離子清洗機感興趣或者想了解更多詳細信息，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！

公司外貿網(wǎng)站：www.plasmapls.com

下一篇：等離子清洗對微型聲學器件品質的改善有什么幫助？上一篇：真空等離子清洗機的腔體大小和進氣方式對均勻性有何影響？

“推薦閱讀”

普樂斯推薦

USC干式超聲波除塵設備高壓旋風除塵PLS-X系列介紹

產品名稱：USC干式超聲波除塵設備高壓旋風除塵PLS-X系列介紹
1）能有效去除大于3μm的顆粒
2）不需要高純水和化學藥劑等，同時不需要后續(xù)烘干工藝
3）設備維護簡單，只需進行簡單的清洗和更換
4）沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
5）非接觸式的清洗方式避免損壞工
6）閉環(huán)系統(tǒng)不會破壞生產車間（潔凈室）的氣流平衡
小型等離子清洗機實驗型等離子清洗機半導體活化刻蝕 pr5L

產品名稱：小型等離子清洗機實驗型等離子清洗機半導體活化刻蝕 pr5L
‌實驗室等離子清洗機‌是一種利用等離子體技術進行表面處理的設備，廣泛應用于科研和工業(yè)制造領域。
真空等離子清洗機等離子表面處理機表面處理改性PM-20LN

產品名稱：真空等離子清洗機等離子表面處理機表面處理改性PM-20LN
真空等離子清洗機作為一種高效、無介質的表面處理設備，具有廣泛的應用前景。其工作原理基于等離子體在真空環(huán)境中產生的化學反應和物理效應，具有高效清洗、無介質清洗、可選擇性清洗、表面改性和自動化操作等優(yōu)勢。
實驗型等離子清洗機小型真空等離子處理設備PLAUX-PR-10L

產品名稱：實驗型等離子清洗機小型真空等離子處理設備PLAUX-PR-10L

‌高效徹底‌：能夠深入微納米級孔隙中，徹底清除難以觸及的污染物。

‌環(huán)保節(jié)能‌：無需使用化學溶劑，減少廢水廢氣排放，符合綠色生產要求，且能耗低。

‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會對材料性能產生負面影響。

‌工藝可控‌：通過調整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過程‌。
普樂斯非接觸式除塵設備 usc干式除塵設備pls-c系列

產品名稱：普樂斯非接觸式除塵設備 usc干式除塵設備pls-c系列
在材料及產品生產、加工、轉運的過程中，材料表面由于存在靜電，表面會自帶或吸附微塵，影響成品質量。隨著各行業(yè)表面潔凈度要求不斷提高，對微小雜質和粉塵的去除愈加重要。非接觸表面清潔有無接觸、設備小、成本低、耗材少、易實施等優(yōu)點，近年來在各個行業(yè)均有較快的發(fā)展。