等離子表面刻蝕常用四氟化碳？
文章導(dǎo)讀：等離子表面刻蝕是等離子清洗機(jī)的一大功能，那么等離子清洗機(jī)實(shí)現(xiàn)刻蝕功能通常會(huì)用什么氣體？
等離子清洗機(jī)的功能主要包括清洗、活化、接枝（沉積）及刻蝕，實(shí)現(xiàn)這些功能除對(duì)放電方式和電極結(jié)構(gòu)有要求外，工藝氣體的選擇也是非常重要的，特別是等離子表面刻蝕功能。四氟化碳是實(shí)現(xiàn)刻蝕功能的一種常規(guī)氣體。
一、等離子刻蝕為什么常用四氟化碳
刻蝕通常又會(huì)被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等，刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機(jī)物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體，從而達(dá)到蝕刻的目的。
實(shí)現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體，應(yīng)用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體，無毒、不燃，但在高濃度時(shí)具有麻醉作用，所以在工業(yè)應(yīng)用時(shí)儲(chǔ)存的容器為專用高壓氣瓶，所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
四氟化碳在被等離子清洗機(jī)電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體，能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)刻蝕及有機(jī)物去除，在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機(jī),等離子表面處理設(shè)備,已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證,為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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實(shí)現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體，應(yīng)用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體，無毒、不燃，但在高濃度時(shí)具有麻醉作用，所以在工業(yè)應(yīng)用時(shí)儲(chǔ)存的容器為專用高壓氣瓶，所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
二、放電顏色及行業(yè)應(yīng)用
真空等離子清洗機(jī)電離四氟化碳?xì)怏w產(chǎn)生的等離子體顏色為白色，肉眼觀察類似于稀薄的白色霧氣，辨識(shí)度很高，很容易與其他氣體區(qū)分。
真空等離子清洗機(jī)電離四氟化碳?xì)怏w產(chǎn)生的等離子體顏色為白色，肉眼觀察類似于稀薄的白色霧氣，辨識(shí)度很高，很容易與其他氣體區(qū)分。
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