A型主要適用與O?、N?、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等離子體的檢測，也適用于UV洗凈和臭氧洗凈。可用于接合線、覆晶線等接合處的表面改性、部分封裝后底部填充前的洗凈和電鍍前表面改質(zhì)以及LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設(shè)備對裝前的洗凈。

B型等離子體處理指示卡可用于大氣等離子表面處理的檢測，分為高敏度和低敏感度兩種。主要用于印刷電路板制造、FPD制造和膜加工等大面積處理。

C型變色部分為無機(jī)材料，基材為PI材質(zhì)，背膠可承受200攝氏度高溫。具有柔軟性，可自由貼附于基板表面或等離子清洗機(jī)設(shè)備內(nèi)部。處理后會根據(jù)不同氣體顯示不同的顏色。

D型主要用于檢測均勻性，可提高面內(nèi)均一性檢測效率，對面內(nèi)差和層間差均可輕松檢測。

E型晶圓專用（提高良品率，開機(jī)前處理），我們正在研發(fā)中；

本產(chǎn)品的變色區(qū)印刷的色素與各種等離子體反應(yīng)，根據(jù)處理時間、功率、工藝氣體種類和氣體流量等參數(shù)的不同會產(chǎn)生不同程度的顏色變化。

接合線、覆晶線等接合處的表面改性

部分封裝后底部填充前的清洗

電鍍前表面改質(zhì)

LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設(shè)備對裝前的清洗